低溫恒溫循環(huán)器有哪些特征？

低溫恒溫循環(huán)器應(yīng)用于對半導(dǎo)體制造裝置發(fā)熱部的冷卻:單晶片洗凈轉(zhuǎn)載、印刷機、自動夾座安裝裝置、噴涂裝置、離子鍍裝置、蝕刻裝置、單晶片處理裝置、切片機、包裝機、顯影劑的溫度管理、露光裝置、生磁部分的加熱裝置等。并且對激光裝置發(fā)熱部分的冷卻：激光加工、熔接機的發(fā)熱部分、激光標(biāo)志裝置、發(fā)生裝置、二氧化碳激光加工機等起到很大作用。

低溫恒溫循環(huán)器的主要特征：

1、內(nèi)置GUIGO*新一代溫度控制程序,確保設(shè)備運行穩(wěn)定。(國內(nèi)**)

2、風(fēng)冷式高效全封閉制冷壓縮機,降溫速度快。

3、微機智能控制,溫度**溫度。

4、內(nèi)膽為不銹鋼，清潔衛(wèi)生，美觀耐腐蝕。

5、數(shù)顯分辨率0.1℃或0.01℃，具有溫度測量值偏差修正功能。

6、溫度超溫保護,自動切斷電源并報警。

7、制冷系統(tǒng)過熱、過流自動保護。

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